KBM

용도

• 반도체 제조공정 중 활성영역(소스,드레인) 부분에 이온을 주입시켜 다이오드 특성 등을 만드는 이온임플란트 공정에서 사용되는 이온빔을 발생하는 필라멘트

특징

• 고순도 텅스텐 재료 사용 및 정밀 치수 관리
• 열처리 가공으로 고수명 유지