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반도체 검사 부품 및 설비
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이온임플란트 소스
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이온임플란트 소스
용도
이온주입 (Ion Implant) 공정의 이온발생 장치 (Ion Source Head) 에 사용되는 W, Mo, Ta 재질의 부품
특징
높은 순도의 금속분말 원재료 및 CIP 등 우수한 소결공정을 통한 고품질 원재료 사용
최신 가공 설비를 통한 고객요구 사양에 맞는 주문 제작
텅스텐, 몰리브덴 등의 소재에 대한 오랜 경험과 기술로 가격경쟁력 확보